不銹鋼激光加工臺需要什么材料?
發(fā)布者:鑫茂盛 發(fā)布時(shí)間:2022-5-14 17:38:57
不銹鋼工作臺的精密加工和精密測量工藝裝備對定位工作臺提出了高精度、高速度、長行程的技術(shù)要求,因此對定位工作臺材料的選用也有非常高的要求。材料的選用直接影響著定位工作臺的性能,采用低密度、非磁性和高剛度材料的趨勢越來越明顯。
理論研究與實(shí)驗(yàn)研究表明,精密定位工作臺采用低密度、高剛度的材料制造,可以減輕系統(tǒng)的質(zhì)量,提高整個(gè)系統(tǒng)的剛度,從而提高定位工作臺的動態(tài)性能。為此,不銹鋼工作臺通常采用氧化鋁陶瓷、碳化硅等密度小、楊氏模量大的材料制作導(dǎo)軌,而在定位工作臺的測量系統(tǒng)中常用殷鋼制作基座。殷鋼是由63.8%的鐵、36%的鎳以及0.2%的碳所組成的合金,其膨脹系數(shù)很低,通常稱為“不脹鋼”。
在微電子加工和精密定位設(shè)備中,該類材料是制造對散熱、尺寸等要求嚴(yán)格的工作臺的極佳材料之一。不銹鋼工作臺基準(zhǔn)反射鏡的材料采用零膨脹玻璃。由于Zerodur(微晶玻璃材料的一種)具有低膨脹系數(shù)和良好的加工性能,因此常用來加工定位工作臺的測量部件和其他重要零件。
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